Common Specificationsa
Travel		4 mm
Travel Mechanism		Parallel Flexure
Deck Height (Nominal)		62.5 mm (2.46")
Optical Axis Height (Nominal)		75 mm (2.95")
Load Capacity (Max)		1 kg (2.2 lbs)
Thermal Stability		1 µm/°C
Parallelism of Top Plate		< 100 µm
Top Plate Mounting Holes	Imperial Plate (Item # MMP1)
	Metric Plate (Item # MMP1/M)

• 完整的规格请看规格标签

特性

• X、Y和Z轴行程为4 mm
• 挠性设计，确保平滑连续运动和长期稳定性
• 顶板带凹槽，确保多轴位移台配件的对准
• 紧凑尺寸：112.0 mm x 112.0 mm，不包括驱动器
• 所有调节器都耦合到底座，将串扰降到最低
• 模块化设计可以互换驱动器

Thorlabs的三轴NanoMax挠性位移台非常适合要求亚微米重复性的光纤耦合应用。平行挠性设计确保了精确、平滑、连续的运动，摩擦可以忽略。位移台的X、Y和Z行程都是4 mm，最大负载1 kg。平台的标称高度是62.5 mm，匹配我们的三轴MicroBlock小型挠性位移台和RollerBlock长行程位移台的高度。提供转接板用于在我们的NanoMax位移台上安装Thorlabs各种其它的旋转和长行程线性位移台。

精密驱动
预安装差分微米驱动器或步进电机的位移台可以开箱即用。我们的三轴NanoMax位移台的模块化设计允许在任何时候拆卸和更换驱动器。关于兼容驱动器的选择，请看驱动标签。所有驱动器都直接耦合在底部，将系统中运动串扰降到最低。对于纳米定位应用，我们提供内置压电驱动版本。

压电选项
这些位移台提供带或者不带集成的开环或闭环压电驱动器。压电驱动器提供20 µm行程，可以使用我们很多开环或闭环压电控制器控制(全部兼容控制器请参看规格标签)。这些位移台与NanoTrak^®控制器(比如K-Cube、台式或机架系统模块)配合使用时，系统变成一个强大的自动对准方案，维持光通量并且消除由热漂移或其它外力引起的耦合效率损耗。这些压电位移台包含3根PAA100驱动电缆，闭环系统还包含3根PAA622反馈变换器电缆。

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压电和反馈连接

使用闭环压电驱动器的版本具有内部应变位移传感器，提供与压电元件的位移呈线性比例的反馈电压信号。这个反馈信号可以补偿所有压电元件中都固有的迟滞、蠕变和热漂移。

请注意，压电机制利用与微米驱动器的接触来移动顶部平台。如果出于任何原因需要拆除微米驱动器，那么压电驱动器必须安装盲塞才能使用。如要购买盲塞，请联系技术支持techsupport-cn@thorlabs.com。

配件的简易对准
平台顶部的两个中心槽方便快速地重配系统，同时维持配件的对准(请见左边和上面的图示)。正交图案允许变换位移台的右手和左手使用方向。我们提供多种配件，用于安装显微物镜、准直器、波导、光纤以及很多其它器件。如果需要偏离中心安装组件，可以用RB13P1转接板(本页底部有售)替换带凹槽的顶板，RB13P1具有1/4"-20(M6)和8-32(M4)安装孔阵列。

3轴NanoMax位移台，带差分调节器

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Item #		MAX313D(/M)	MAX312D(/M)	MAX311D(/M)
Manual Drive Specifications
Item #		DRV3
Travel	Coarsea	4 mm (0.16")
	Fine	300 µm
Coarse Adjustment		500 µm/rev
Fine Adjustment		50 µm/rev
Piezo Specificationsb
Control		N/A	Open Loop	Closed Loop
Voltage Range			0 - 75 V
Travel			20 µm +0.2 µm / -0.0 µm
Bidirectional Repeatability			200 nm	50 nm
Absolute On-Axis Accuracy			1.0 µm
Included Piezo Cables			Three PAA100	Three PAA100 Three PAA622

• DRV3差分促动器的完整粗调行程范围为8 mm(0.31英寸)。但是位移台会将其行程限制在4 mm。
• 完整的压电规格请参看规格标签。

• 预配置手动调节的DRV3差分测微计
• 可选择具有内部闭环或开环压电元件的版本，或不带压电元件的版本
• 压电促动器提供20 µm行程
• 模块化设计允许拆卸和更换驱动器
• 所有调节器接到共用的基部，且安装在侧面
• 非常适用于专业光纤耦合系统

Thorlabs使用差分调节器的NanoMax位移台提供4 mm粗调行程和300 µm微调行程。粗调刻度具有10 µm分度，微调刻度具有1 µm分度。这种分辨率和行程范围的位移台非常适合用于光纤对准或波导定位系统中优化耦合效率。这种分度也可以在系统中确定一个参考点，用于绝对定位。包含的驱动器具有模块化设计，任何时候都已更换它们；详细信息和所有兼容的驱动器选项请看驱动标签。

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MAX311D三轴位移台与PY005/M五轴位移台、PY005A2/M底座和MMP1/M顶板用于光纤耦合。

除了上述特性之外，MAX312D和MAX311D NanoMax位移台分别集成了开环和闭环压电驱动器，行程都是20 µm。开环设计没有内部应变仪传感器，而闭环反馈设计中额外使用应变传感器让MAX311D位移台能补偿所有压电元件中都固有的迟滞、蠕变和热漂移。这些压电位移台包含3根PAA100驱动电缆，闭环系统还包含3根PAA622反馈变换器电缆。

英制位移台包含一个MMP1顶板和两个AMA010安装螺栓，而公制位移台包含一个MMP1/M顶板和两个AMA010/M安装螺栓。这些安装板具有中心狭槽，方便重复对准概述标签中列举的所有配件。如果需要偏离中心安装或面包板安装，我们还提供RB13P1顶板。