Thorlabs 索雷博 MAX608/M 6轴位移台
Thorlabs 索雷博 MAX608/M 6轴位移台
MAX608/M - NanoMax 6轴位移台，带开环压电元件，右手系，公制
| Common Specificationsa | ||
|---|---|---|
| Travel | X, Y, Z | 4 mm (0.16") |
| θx, θy, θz | 6° (105 mrad) | |
| Travel Mechanism | Parallel Flexure | |
| Deck Height (Nominal) | 112.5 mm (4.43") | |
| Optical Axis Height (Nominal) | 125 mm (4.92") | |
| Load Capacity (Max) | 1 kg (2.2 lbs) | |
| Crosstalk (Max) | 80 µm | |
| RMS Repeatability | 30 nm over 30 μm 0.1% Over Full Travel Range |
|
| Thermal Stability | 1 µm/°C | |
| Stiffness | X, Z | 1 N/µm |
| Y | 0.5 N/µm | |
| Top Plate Mounting Holes |
Imperial Plate |
 |
| Metric Plate |
 |
|
特性
- X轴、Y轴和Z轴行程为4 mm(0.16英寸)
- θx、θy、θz(摆动、俯仰和偏转)行程为6°(105 mrad)
- 公共支点，实现所有旋转自由度，简化对准，减少串扰
- 平行挠性设计，确保平滑连续的运动和长期的稳定性
- 顶板带凹槽，确保多轴位移台配件的对准
- 压电选项提供最高1 nm的分辨率
- 高刚度挠性设计：
- X轴和Z轴：1 N/µm
- Y轴：0.5 N/µm
- 共振频率高：>130 Hz(±10%)
- 一体式单移动平台设计
- 所有调节器都耦合到底座，将串扰降到最低
- 模块化设计，便于交换驱动器
- 维护成本低，降低总持有成本
Thorlabs的NanoMax™ 6轴纳米定位挠性位移台非常适合光纤耦合系统，或需要亚微米分辨率的应用。每个装置在X轴、Y轴和Z轴的行程为4 mm(0.16英寸)，在θx、θy和θz的行程为6°(105 mrad)，最大负载能力为1 kg(2.2 lbs)。我们提供带或不带预配置压电驱动器、差分或步进电机驱动器的版本。位移台的标称载物台高度为112.5 mm(4.43英寸)，匹配高度为112.5 mm的5轴位移台套件。我们也提供转接板，用于将3轴和4轴挠性位移台的载物台高度从62.5 mm提升到112.5 mm，从而兼容我们的6轴位移台。
平行的挠性设计确保精确平滑的连续运动，摩擦几乎可以忽略。对于复杂的多轴定位应用，平行挠性位移台将三个以上自由度集成在单个小型装置中，明显比按序堆叠位移台的设计具有更好的性能。更多信息，请看设计特性标签。
我们的6轴NanoMax位移台作为功能强大的纳米定位工具还有2个创新点：一是公共旋转支点，二是将所有调节器直接耦合到底座的专利设计，以尽量减少系统中不必要的运动。
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可拆下的不锈钢探针顶部标记了所有旋转轴的公共支点。
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在该光纤耦合应用中，激光二极管通过AMA029D扩展平台安装到6轴位移台前。
公共旋转点
如左图所示，每个NanoMax 6轴位移台在移动平台前都有不锈钢探针，标记所有旋转轴的公共支点。所有旋转轴具有公共支点，可以减少系统的对准时间，因为这样在调整θx、θy和θz时不需要补偿横向运动。如果移动平台开始平移，支点也会相对底座移动，保持支点和移动平台的相对位置。机械图纸中有该点的标称位置，点击右表中的蓝色信息按扭(
)即可查看。更多信息，请看设计特性标签。
精密驱动
下方提供预配置差分测微头驱动器或步进电机驱动器的位移台，即开即用。NanoMax 6轴位移台的模块化设计允许在任何时候拆卸和更换驱动器。关于兼容驱动器的选项，请看驱动标签。驱动器都直接耦合到底座，以尽量减少系统中不必要的运动。这种特性非常适合需要亚微米级分辨率的应用。对于纳米定位应用，我们有内置压电驱动器的版本。
压电选项
开环或闭环的压电选项让这些位移台实现纳米级的分辨率。内置于位移台的压电驱动器具有30 µm的行程，可使用多种开环或闭环压电控制器(所有兼容的控制器，请看规格标签)控制。将这些位移台与NanoTrak控制器(K-Cube、台式或机架系统模块)耦合时，系统具有强大的自对准功能，能够维持光通量，并消除由于热漂移或其它外力引起的耦合效率损耗。这些压电位移台包含6根PAA100驱动电缆，在闭环系统的情况下，包含6根PAA622反馈变换器电缆。
具有开环压电驱动器的位移台没有应变仪位移传感器，非常适合需要定位分辨率低至20 nm的应用。带闭环压电驱动器的版本内部有应变仪位移传感器，可提供与压电元件的位移呈线性比例的反馈电压信号。这种反馈信号将分辨率提高到5 nm，可用于补偿所有压电元件中固有的迟滞、蠕变和热漂移，使这些位移台成为需要纳米级分辨率应用的极佳选择。
请注意，压电机制利用与测微计驱动器的接触来移动顶部平台。不管出于任何原因，如果位移台在拆除测微计驱动器的情况下工作，必须在压电驱动器运行之前安装盲塞。如要预订盲塞，请联系技术支持techsupport-cn@thorlabs.com。
配件的简易对准
我们提供多种配件(见下方)来安装产品，比如显微物镜、准直器、波导、光纤等更多产品。这些配件可以通过中心键槽在6轴位移台的顶部平台上轻松实现对准。顶部平台的中心键槽便于快速重新配置系统，同时还能在整个实验中维持配件的对准。
NanoMax 6轴位移台，不带预装的驱动器
| Item #a | MAX607(/M) MAX607L(/M) |
MAX608(/M) MAX608L(/M) |
MAX609(/M) MAX609L(/M) |
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|---|---|---|---|---|
| Piezo Specifications | ||||
| Control | N/A | Open Loop | Closed Loop | |
| Drive Voltage Range | 0 - 75 V | |||
| Travel |
X, Y, Z | 30 µm | ||
| θx, θy, θz | 1.8 arcmin (0.52 mrad) | |||
| Theoretical Resolutiond |
X, Y, Z | 1.0 nm | ||
| θx, θy, θz | 0.018 µrad | |||
| Included Piezo Cables | Six PAA100 | Six PAA100 Six PAA622 |
||
- 不带预装的驱动器
- 提供内部带闭环或开环的压电元件，或没有压电元件的版本
- 选用的压电驱动器行程为30 µm
- 模块化设计便于拆卸和更换驱动器(详情请查看驱动标签)
- 所有调节器都耦合到底座，将串扰降到最低
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6轴位移台配置多种驱动器。所有选项请看驱动标签。
Thorlabs的NanoMax 6轴位移台专为希望自定义安装驱动器的客户设计。装上驱动器之后，在X轴、Y轴和Z轴的行程为4 mm(0.16英寸)，θx、θy和θz(摆动，俯仰和偏转)行程为6°(105 mrad)。这样可以根据所需的精度或自动程度对每个轴进行配置。不管是使用手拧螺丝的多模光纤耦合系统应用，还是使用步进电机驱动器的自动对准系统，每个轴都可以根据需要来配置。所有兼容的驱动器列表，请看驱动标签。
除了以上特性，型号以MAX608或MAX609开头的产品分别整合了开环和闭环压电驱动器，行程为30 µm。开环设计内部没有应变式传感器。压电驱动器X、Y和Z轴的理论分辨率为1.0 nm，θx、θy和θz旋转轴的理论分辨率为0.018 µrad。使用我们闭环系统时会产生反馈回路，适用于补偿所有压电元件固有的滞后、蠕变和温度漂移。这些压电位移台包含6根PAA100驱动电缆，在闭环系统的情况下，则为6根PAA622反馈变换器电缆。
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