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上方应用中，NanoMax 3轴挠性位移台通过AMA554高度转接件在6轴位移台前面对准，载物台高度提升到112.5 mm。

Common Specificationsa
Travel	X, Y, Z	4 mm (0.16")
	θx, θy, θz	6° (105 mrad)
Travel Mechanism		Parallel Flexure
Deck Height (Nominal)		112.5 mm (4.43")
Optical Axis Height (Nominal)		125 mm (4.92")
Load Capacity (Max)		1 kg (2.2 lbs)
Crosstalk (Max)		80 µm
RMS Repeatability		30 nm over 30 μm 0.1% Over Full Travel Range
Thermal Stability		1 µm/°C
Stiffness	X, Z	1 N/µm
	Y	0.5 N/µm
Top Plate Mounting Holes	Imperial Plate
	Metric Plate

• 完整规格请看规格标签。

特性

• X轴、Y轴和Z轴行程为4 mm(0.16英寸)
• θx、θy、θz(摆动、俯仰和偏转)行程为6°(105 mrad)
• 公共支点，实现所有旋转自由度，简化对准，减少串扰
• 平行挠性设计，确保平滑连续的运动和长期的稳定性
• 顶板带凹槽，确保多轴位移台配件的对准
• 压电选项提供最高1 nm的分辨率
• 高刚度挠性设计：
  • X轴和Z轴：1 N/µm 
  • Y轴：0.5 N/µm
• 共振频率高：>130 Hz(±10%)
• 一体式单移动平台设计
• 所有调节器都耦合到底座，将串扰降到最低
• 模块化设计，便于交换驱动器
• 维护成本低，降低总持有成本

Thorlabs的NanoMax™ 6轴纳米定位挠性位移台非常适合光纤耦合系统，或需要亚微米分辨率的应用。每个装置在X轴、Y轴和Z轴的行程为4 mm(0.16英寸)，在θx、θy和θz的行程为6°(105 mrad)，最大负载能力为1 kg(2.2 lbs)。我们提供带或不带预配置压电驱动器、差分或步进电机驱动器的版本。位移台的标称载物台高度为112.5 mm(4.43英寸)，匹配高度为112.5 mm的5轴位移台套件。我们也提供转接板，用于将3轴和4轴挠性位移台的载物台高度从62.5 mm提升到112.5 mm，从而兼容我们的6轴位移台。

平行的挠性设计确保精确平滑的连续运动，摩擦几乎可以忽略。对于复杂的多轴定位应用，平行挠性位移台将三个以上自由度集成在单个小型装置中，明显比按序堆叠位移台的设计具有更好的性能。更多信息，请看设计特性标签。 

我们的6轴NanoMax位移台作为功能强大的纳米定位工具还有2个创新点：一是公共旋转支点，二是将所有调节器直接耦合到底座的专利设计，以尽量减少系统中不必要的运动。

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可拆下的不锈钢探针顶部标记了所有旋转轴的公共支点。

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在该光纤耦合应用中，激光二极管通过AMA029D扩展平台安装到6轴位移台前。

公共旋转点
如左图所示，每个NanoMax 6轴位移台在移动平台前都有不锈钢探针，标记所有旋转轴的公共支点。所有旋转轴具有公共支点，可以减少系统的对准时间，因为这样在调整θx、θy和θz时不需要补偿横向运动。如果移动平台开始平移，支点也会相对底座移动，保持支点和移动平台的相对位置。机械图纸中有该点的标称位置，点击右表中的蓝色信息按扭()即可查看。更多信息，请看设计特性标签。

精密驱动
下方提供预配置差分测微头驱动器或步进电机驱动器的位移台，即开即用。NanoMax 6轴位移台的模块化设计允许在任何时候拆卸和更换驱动器。关于兼容驱动器的选项，请看驱动标签。驱动器都直接耦合到底座，以尽量减少系统中不必要的运动。这种特性非常适合需要亚微米级分辨率的应用。对于纳米定位应用，我们有内置压电驱动器的版本。

压电选项
开环或闭环的压电选项让这些位移台实现纳米级的分辨率。内置于位移台的压电驱动器具有30 µm的行程，可使用多种开环或闭环压电控制器(所有兼容的控制器，请看规格标签)控制。将这些位移台与NanoTrak控制器(K-Cube、台式或机架系统模块)耦合时，系统具有强大的自对准功能，能够维持光通量，并消除由于热漂移或其它外力引起的耦合效率损耗。这些压电位移台包含6根PAA100驱动电缆，在闭环系统的情况下，包含6根PAA622反馈变换器电缆。

具有开环压电驱动器的位移台没有应变仪位移传感器，非常适合需要定位分辨率低至20 nm的应用。带闭环压电驱动器的版本内部有应变仪位移传感器，可提供与压电元件的位移呈线性比例的反馈电压信号。这种反馈信号将分辨率提高到5 nm，可用于补偿所有压电元件中固有的迟滞、蠕变和热漂移，使这些位移台成为需要纳米级分辨率应用的极佳选择。

请注意，压电机制利用与测微计驱动器的接触来移动顶部平台。不管出于任何原因，如果位移台在拆除测微计驱动器的情况下工作，必须在压电驱动器运行之前安装盲塞。如要预订盲塞，请联系技术支持techsupport-cn@thorlabs.com。

配件的简易对准
我们提供多种配件(见下方)来安装产品，比如显微物镜、准直器、波导、光纤等更多产品。这些配件可以通过中心键槽在6轴位移台的顶部平台上轻松实现对准。顶部平台的中心键槽便于快速重新配置系统，同时还能在整个实验中维持配件的对准。

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Item #a		MAX601D(/M)	MAX602D(/M)	MAX603D(/M)
Manual Drive Specifications
Included Drives		DRV3 Differential Micrometer Drives
Travel	X, Y, Z	Coarseb: 4 mm (0.16") Fine: 300 µm
	θx, θy, θz	Coarse: 6° (105 mrad) Fine: 18 arcmin (5.2 mrad)
Coarse Adjustmentc		500 µm/rev
Fine Adjustmentc		50 µm/rev
Piezo Specifications
Control		N/A	Open Loop	Closed Loop
Drive Voltage Range			0 - 75 V
Travel Range	X, Y, Z		30 µm
	θx, θy, θz		1.8 arcmin (0.52 mrad)
Theoretical Resolutiond	X, Y, Z		1.0 nm
	θx, θy, θz		0.018 µrad
Included Piezo Cables			Six PAA100	Six PAA100 Six PAA622

• 完整的规格请查看规格标签。
• DRV3差分驱动器满粗调行程范围是8 mm(0.31英寸)。该范围受到位移台限制到4 mm(0.16英寸)或者6°(105 mrad)。
• 请注意，对于X轴和Y轴，由于传动比为1：1.5，测微仪每平移1 mm，位移台将平移1.5 mm。其它轴的传动比为1:1。
• 使用BPC30x系列控制器且基于16位DAC的典型值

• 预配置DRV3差分测微头，用于手动调节
• 提供内部带闭环或开环的压电元件，或没有压电元件的版本
• 选用的压电驱动器行程为30 µm
• 模块化设计便于拆卸和更换驱动器
• 所有调节器都耦合到底座，将串扰降到最低

Thorlabs带差分调节器的NanoMax 6轴位移台在X轴、Y轴和Z轴的粗调行程为4 mm(0.16英寸)，精调行程为300 µm。同时它们的θx、θy和θz(摆动、俯仰和偏转)行程为6°(105 mrad) ，精调行程为18 arcmin(5.2 mrad)。粗调调节器的刻度为10 µm，分辨率为5 µm。精调调节器的刻度为1 µm，分辨率为0.5 µm。这样的分辨率和行程范围使位移台非常适用于优化光纤对准和波导定位系统的耦合效率。这样的刻度还可以作为明确参考点，用于系统内的绝对定位。请注意，对于X轴和Y轴，测微仪每平移1 mm，位移台将平移1.5 mm。更多信息，请查看手册的第10页。附带驱动器的模块化设计便于拆卸和更换；更多详情以及我们所有兼容的驱动器信息，请查看驱动标签。

除了以上特性，MAX602D(/M)和MAX603D(/M) NanoMax位移台分别整合了开环和闭环压电驱动器，行程为30 µm。开环设计内部没有应变式传感器。压电驱动器X轴、Y轴和Z轴的理论分辨率为1.0 nm，θx，θy和θz旋转轴的理论分辨率为0.018 µrad。使用闭环系统时会产生反馈回路，适用于补偿所有压电元件固有的滞后、蠕变和温度漂移。这些压电位移台包含6根PAA100驱动电缆，在闭环系统的情况下，则为6根PAA622反馈变换器电缆。