特性

• 动磁式电机设计，能够快速响应(±0.2°的响应为400 µs)
• 高精度(15 µrad)电容式反射镜位置探测
• 带电流阻尼和误差限制器的模拟控制电子器件
• 反射镜镀膜选项见下表

高速扫描振镜反射镜定位系统用于集成到光束直径小于10 mm的OEM或自搭建的激光束操控应用中。每个系统包含单轴振镜电机和反射镜组件、相关的驱动卡和驱动卡散热器。另外还有一块底板，便于将组件安装到我们的TR系列接杆和挠性平台系列产品。低噪声线性电源(型号前缀GPS011)和驱动卡盖(型号GCE001)可单独购买(详见下方)。初始设置系统时，需要使用函数发生器或DAQ卡来操作伺服驱动器；更多信息，请看手册的章节3和4。

每个振镜系统都包含一根电机驱动电缆，用于连接驱动板和电机。这根30 cm长的电缆经过专门校准，可用于驱动板和电机的内部传感器。我们不建议您自行安装和校准电缆；如果您的应用需要定制振镜系统，请联系技术支持techsupport-cn@thorlabs.com。

反射镜有四种镀膜版本可供选择，如下表所示。

振镜电机/反射镜组件
振镜系统由基于振镜的扫描电机和探测器组成，其中扫描电机带有轴上安装的反射镜，探测器为控制板提供位置反馈。GVS系列振镜电机采用的是动磁式设计，而不是定子磁体和旋转线圈设计，这样可提供最快的响应时间和最高的系统谐振频率。使用电机外壳内的电容式传感系统可编码反射镜的位置。

由于旋转轴的角加速度较大，反射镜的尺寸、形状和惯性都是设计高性能振镜系统需要考虑的重要因素。而且，即使加速度很大，反射镜也必须保持刚性(平整性)。我们的振镜系统仔细考量了这些因素，以匹配振镜电机的特性，最大限度地提高系统性能。

振镜反射镜通过挠性压块固定在电机和反射镜组件上。反射镜镜架的位置出厂时已设好，用户不能改变。

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GVS011银膜振镜反射镜组件和驱动板

扫描振镜反射镜组件和驱动板
Thorlabs所有的扫描振镜反射镜系统都有已安装的单轴或双轴反射镜/电机组件和驱动卡。右图显示的是带驱动卡的10 mm一维银膜振镜反射镜组件。反射镜组件包含多个安装孔和一个旋转套环安装座，用于反射镜/电机。飞线可以连接到驱动板。下面有其它安装选项和配件。

伺服驱动板
比例微分(PD)伺服驱动电路从电机内部的光学位置探测系统中获得信号，然后产生旋转反射镜到理想位置所需的驱动电压。此扫描系统采用非集成的零级伺服，特别适合要求矢量定位(例如激光打标)、光栅定位(打印或激光扫描显微镜)和一些步进并锁定的应用。此外，比例微分控制电路提供出色的动态性能，电路中额外的电流项，可以在加速度较大时维持稳定性。我们所有的振镜系统都使用相同的驱动板。

系统工作
伺服驱动器必须连接到直流电源、振镜电机和输入电压源((监测连接为可选项)。对于连续扫描应用，只需要一个方波或正弦波函数发生器，可在整个范围内扫描振镜反射镜。对于更复杂的扫描模式，可使用可编程电压源，比如DAQ卡。请注意，这些系统不包含函数发生器和DAQ卡。输入电压和反射镜位置之间的比值可以在0.5 V/°、0.8 V/°和1 V/°之间切换。对于GVSx11系统，将上述比值设置为0.5时，±10 V的输入电压可以提供±20°的角度范围。控制电路还提供监测输出，便于用户跟踪反射镜的位置。此外，控制电路提供正比于电机驱动电流的电压，以及反射镜的命令位置与实际位置之间的差异。

闭环反射镜定位
振镜系统外壳内集成的电容式感应系统可以测量反射镜的角方向(位置)，并实现振镜系统的闭环工作。

使用频率为65 Hz的方波控制输入电压，或者频率为130 Hz的正弦波作为驱动信号时，GVSx11系统可以实现±20°的全扫描范围。对于±0.2°的小角度阶跃，反射镜响应时间为400 μs。最高扫描频率是1 kHz，角分辨率为0.0008°(15 μrad，使用GPS011-xx线性电源时)。