特性

• Multi-DM：12 x 12驱动器阵列(140个有效)
• 驱动器最大位移：3.5 μm
• 零迟滞
• 亚纳米级可重复性(平均步长小于1 nm)
• 驱动器间的串扰小(约13%)，所以空间分辨率高
• 提供铝膜、有保护层银膜或金膜反射镜(见曲线标签)
• 保护窗片带6°楔角，镀有用于400 - 1100 nm的宽带增透膜
• 1020个驱动器(Kilo-DM)的型号可通过Boston Micromachines Corporation购买

Thorlabs是Boston Micromachines Corporation(BMC)的合作伙伴，我们很高兴在此提供BMC的Multi-DM微机械可变形反射镜系统，以便用户在高级光学控制应用中使用。为了便于安装和搭建，每套产品都包含可变形反射镜、驱动器和控制软件。这些反射镜能够改变波前形状，从而校正高度畸变的入射波前(参考像差类型标签了解DM可校正的像差)。微机电系统(MEMS)可变形反射镜功能多样，技术成熟，具有高分辨率波前校正能力，广泛用于波前整形应用。

点击放大
安装在KS2光学调整架中的DM140-35-UP01

这些多功能的DM采用多晶硅表面微加工技术制造，封装外形简单易用，可以提供精密的像差补偿。反射镜由一层薄膜构成，通过140个可单独控制的静电驱动器(即12 x 12个驱动器阵列，4个角上的驱动器是无效的)使薄膜变形。这些驱动器在小面积内提供3.5 μm行程。此外，包含1020个驱动器(即32 x 32个驱动器阵列，4个角上的驱动器是无效的)的Kilo-DM可通过BMC购买。Kilo-DM的驱动器提供1.5 μm行程。BMC反射镜使用静电驱动，所以在变形时不会像压电可变形反射镜一样产生迟滞。

DM电气接口

Multi-DM和Kilo- DM反射镜有镀金膜、有保护层银膜或铝膜的版本。反射镜前有带6°楔角、镀400 - 1100 nm范围增透膜的保护窗片。有关镀膜曲线的信息，请看曲线标签。如需其它镀膜，请联系技术支持techsupport-cn@thorlabs.com。虽然可变形反射镜在天文学上的应用是众所周知的，但它们作为微型精密波前控制器件，也能用于光束整形、显微学、激光通信和视网膜成像等应用中。

自适应光学
可变形反射镜是构成自适应光学(AO)系统的三种主要组件之一。AO系统可用于校正一束光的波前。DM配合波前传感器和控制软件可以组成闭环系统，实时主动校正相位畸变(更多信息，请点击自适应光学教程标签)。Thorlabs提供基于CMOS的Shack-Hartmann波前传感器。

这些系统一般用于国际天文学和美国国防领域，但是对于任何需要控制光相位的领域，它们都是锦上添花。如今，自适应光学应用已经渗透到众多领域中，包括飞秒脉冲整形、显微学、激光通信、视力矫正和视网膜成像等。

Related White Papers

Adaptive Optics Kits
Click to Enlarge	Click to Enlarge
Thorlabs与Boston Micromachines Corporation(BMC)合作提供自适应光学套件，致力于将自适应光学技术应用到更多的研究领域。这些套件包含所有自适应光学系统所需的三种主要器件：MEMS可变形反射镜系统、波前传感器和实时控制软件。另外，套件(见左图)还包含光源、所有准直/成像光学元件以及所有必需的安装硬件(不包含面包板)。这些套件价格实惠，使用方便，能够快速集成到研究系统中。如要订购包含其他组件的套件，请联系技术支持techsupport-cn@thorlabs.com。